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20267-14
HMDS镀膜疏水效果参差不齐？核心是真空度与气化温场均匀度没把控到位

半导体晶圆、精密芯片、光学镜片、陶瓷基材、微电子元器件制造过程中，HMDS真空疏水预处理是光刻、镀膜、键合工艺的前置核心工序。很多精密制造企业经常遇到工艺不良问...

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