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20248-16
什么是HMDS预处理真空烘箱

HMDS预处理真空烘箱是一种专门用于半导体生产工艺中的设备。在光刻工艺中，光刻胶大多是疏水的，而硅片等基片表面的羟基和残留水分子是亲水的，这会导致光刻胶与基片的...

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