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HMDS预处理真空烘箱是一种专门用于半导体生产工艺中的设备。在光刻工艺中,光刻胶大多是疏水的,而硅片等基片表面的羟基和残留水分子是亲水的,这会导致光刻胶与基片的...
2015-6-7
2015-5-25
2015-5-18
2015-4-27
2015-4-23
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